オリンパス 半導体/FPD検査顕微鏡 MX61 買取の総合リサイクル ハンター! 


mx61l
■買取/リサイクル商品名
オリンパス 半導体/FPD検査顕微鏡 MX61

■特徴
MX61L/ MX61は半導体やFPD検査における効率を追求した300mm/200mm対応の検査顕微鏡です。対物レンズ切替えとASが連動し、前面に集約した操作部から素早い操作で検査効率がアップします。明視野から蛍光観察まで多様な観察法にも対応して幅広い検査をサポートします。

検査効率を考慮したデザイン
主要操作部をフロントパネルに集中配置
[1]落射調光ダイヤル
[2]対物倍率変換
[3]明るさ絞り開閉ボタン
コントラストの決定に重要な役割を果たす明るさ絞り(AS)の開閉調整は、対物レンズの切換えや観察モードと連動しておりボタンひとつで操作できます。また、指1本で操作できるように調光ダイヤルもフロントパネルに配置しているので、検査のスピードアップが図れます。対物レンズと明るさ絞り(AS)のボタンはそれぞれ斜めに配置されており、フォーカスハンドルから手を離さずに、親指の動きだけで楽に操作することができます。 この斜めのボタンレイアウトにより、指先での感知性を高め誤操作を防ぎます。

観察姿勢がすばやくとれるティルティング鏡筒
自分のアイポイントに合わせるために椅子の高さを調整したり、無理な姿勢で検査したりしているようでは、タイムロスが大きく作業スピードも落ちてしまいます。0°から42°(可変高さ150mm、SEMI S8対応)の幅広いティルト角をもつティルティング鏡筒を装備しているので、検査する人の体格に関係なく楽な観察姿勢がとれ、立ち検査も可能です。また、この鏡筒は観察中心軸からアイポイントまでの距離を長くとっているため、大きなステージでも楽に操作ができます。

高感度ステージによりすばやい位置決めが可能
300mmウエハ/17インチパネルサイズ対応のMX-SIC1412R2ステージは大きな透過照明範囲(Y方向284mm)を有しています。また、クラッチ内蔵のステージグリップにより、粗微動の切換えができるので、顕微鏡をのぞいたままで自由にステージ移動がおこなえ、スピーディに検査することができます。

鮮明な観察像と卓越した解像力を誇る光学系
最適な光学系を豊富なシリーズから選択
対物レンズは試料への照明と観察を兼ねる光学顕微鏡の最も重要なユニットです。オリンパスは多彩な観察方法や、長作動、近赤外光用、LCD検査用などに対応した幅広いラインナップから最適な対物レンズを選ぶことができます。

■仕様
光学系     UIS2光学系(無限遠補正)
本体     観察法     明視野/暗視野/微分干渉/簡易偏光/蛍光
落射/透過     落射/透過
投光管     本体一体型(明視野、暗視野+1オプション)
照明系     落射照明     100Wハロゲン/100W水銀/75Wキセノン
透過照明     ファイバライトガイド
焦準部     電動/マニュアル     マニュアル
ストローク     32mm
駆動分解能/微動感度     微動ハンドル1回転0.1mm
最大標本高さ     30mm
レボルバ     電動タイプ     明視野微分干渉6穴
明暗視野微分干渉5穴
明暗視野微分干渉6穴
明暗視野微分干渉心出し5穴
マニュアルタイプ     –
ステージ     ストローク    
8×8インチ右下ハンドル:210(X)×210(Y)mm(透過照明範囲189×189mm)
6×6インチ右下ハンドル:158(X)×158(Y)mm
鏡筒     広視野(視野数22)   
 倒立     双眼/三眼鏡筒
正立     三眼鏡筒
超広視野(視野数26.5)     
倒立     三眼鏡筒
正立     ティルティング三眼鏡筒
オプションユニット     IRユニット/電動ステージ/オートローダ
外形寸法      509(W)×843(D)×507(H)mm(標準組合せ)
質量    40kg(標準組合せ)


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