■買取/リサイクル商品名
オリンパス 半導体/FPD検査顕微鏡 MX61A
■特徴
MX61Aは半導体検査のために開発された電動顕微鏡システムです。電動機能と専用ソフトウェアによりオペレータは最適な観察条件で目的の検査位置に容易に到達することが出来ます。明視野から蛍光観察まで多様な観察法にも対応して幅広い検査をサポートします。
常にベストな観察像を提供する光学系
高い欠陥出力能力
新しい光学系(UIS2)の採用により、特に明視野、暗視野の性能が向上し、欠陥検出能力を高めました。明視野像は色温度の最適化によりヌケが良くニュートラルな色再現を実現、暗視野像は約4倍(当社従来機比)と大幅に明るさが向上しています。
最適な明るさに自動調光
対物レンズ選択と観察法切換に連動して、自動的に明るさ絞りを調整します。観察のスピードアップと疲労軽減が図れます。
幅広いデバイスに対応するリアルタイムAF
MX61Aでは、合焦精度、合焦速度に優れたアクティブAFを搭載しています。新開発のマルチスポット方式センサの採用により、合焦時の安定性を大幅に向上させました。可視、深紫外の落射観察で、観察位置移動に追従したリアルタイムのフォーカシングを実現します。
多彩な観察法に対応
深紫外から可視、近赤外まで、高性能を発揮するUIS2対物レンズシリーズと各種観察ユニットの組合せにより、明視野、暗視野、微分干渉、蛍光、近赤外、深紫外観察まで1台の顕微鏡で対応します。
観察法の切換えは、明視野、暗視野、オプションミラーユニットの3ポジションから選択するだけのかんたんな操作です。
■仕様
光学系 UIS2光学系(無限遠補正)
本体
観察法 明視野/暗視野/微分干渉/簡易偏光/蛍光
落射/透過 落射
投光管 本体一体型(明視野、暗視野+1オプション)
照明系 落射照明 100Wハロゲン/100W水銀/75Wキセノン
透過照明 –
焦準部 電動/マニュアル 電動
ストローク 25.4mm
駆動分解能/微動感度 駆動分解能0.01μm
最大標本高さ 24mm
レボルバ 電動タイプ 明視野微分干渉6穴
明暗視野微分干渉5穴
明暗視野微分干渉6穴
明暗視野微分干渉心出し5穴
マニュアルタイプ –
ステージ ストローク 14×12インチ右下ハンドル:356(X)×305(Y)mm
8×8インチ右下ハンドル:210(X)×210(Y)mm
鏡筒 広視野(視野数22)
倒立 –
正立 –
超広視野(視野数26.5)
倒立 –
正立 ティルティング三眼鏡筒
オプションユニット オートフォーカス/IRユニット/電動ステージ/オートローダ
外径寸法 711(W)×853(D)×552(H)mm(標準組合せ)
質量 56kg(標準組合せ)
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