ニコン LSI検査顕微鏡 ECLIPSE L200D 買取の総合リサイクルハンター！

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ニコン LSI検査顕微鏡 ECLIPSE L200D 買取の総合リサイクルハンター！　

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■買取/リサイクル商品名
ニコン LSI検査顕微鏡 ECLIPSE L200D

■特徴
優れた光学性能
ニコン独自の新しい規格を採用した無限遠補正光学系 CFI60 システムを搭載。対物レンズ面には高性能な反射防止膜を施し、高コントラストでクリアな像を得ることが可能。また、新開発の暗視野照明系は、従来機種比で平均して 3 倍程度の明るさを実現し、微細なキズ、段差などの暗視野観察での検出感度を向上。

作動距離が長く操作性に優れた対物レンズ群
対物レンズ同焦点距離 60mm ※2 という新規格を工業用顕微鏡に採用、N.A.（開口数）を確保しつつ、さらなる長作動距離を実現。高解像度での観察と高い操作性の両立を可能に。また、対物レンズ倍率変換時の同焦点性を向上し、観察視野内での像移動量も抑えました。

高剛性・高耐振構造
設計段階からコンピュータによる構造解析（C.A.E.）手法を用い、新たに像ブレ量を定量化し、従来機種比で剛性・耐振性を大幅に向上。高倍率観察時にもブレのない像が得られ、安定した観察が可能。

快適な操作環境
観察双眼鏡筒部を手前に配し操作部を最適配置。さらにステージ微動ハンドル位置を固定化（新開発）するなど、エルゴノミクスの観点からより高い操作性を追究、快適な操作環境を実現。SEMI 規格 S8-95 ※3 にも対応し、自然な姿勢で観察ができるので、長時間にわたる検鏡作業もより楽におこなえます。

優れた拡張性
ウェハローダ「NWL860」シリーズと組み合わせて使用することにより、より低価格でウェハ検査システムの構築が可能。

帯電防止コーティングを採用
帯電防止コーティングをボディ（鏡基）に施すなど、コンタミネーションにも配慮。

環境に配慮したエコガラスを採用
鉛、砒素を含まない「エコガラス」を対物レンズをはじめ各部に使用。

優れたコストパフォーマンス
さまざまな優れた機能を搭載しながら、従来機種に比べて10 % 程度低い価格を実現。非常にコストパフォーマンスに優れています。

■仕様
鏡基    本体部    焦準機構    ストローク 29 mm、
粗動 12.7mm / 1 回転（トルク調節・再焦準機構付）、
微動 0.1mm / 1 回転（1μm / 1 目）
電源    12V100W 調光用電源、各電動部制御用電源内蔵
各電動部操作スイッチ付（レボルバ回転、ランプ調光、開口絞り開閉、反射 / 透過切換※）
    ※反射 / 透過切換は、L200D のみ
照明    反射照明部    12V100Wハロゲンランプ照明装置（本体部内蔵）、
開口絞り（電動・芯出し可能）、
視野絞り（固定・フォーカスターゲット付）、
ピンホールスライダ（オプション）挿入可能
φ25mmフィルタ（NCB、ND2、ND4）を 4 枚まで挿入可能、
ポラライザ / アナライザ挿入可能
透過照明部 12V100Wハロゲンランプ
照明装置（本体部内蔵）
開口絞り内蔵、
LWDコンデンサ内蔵
鏡筒    超広視野正立チルト（傾角）三眼鏡筒（俯角 0 ～30度）
視野数φ25、
光量比（双眼 100：0 直筒 / 双眼 0：100 直筒）
接眼レンズ    CFI 接眼レンズシリーズ
レボルバ    6 ヶ孔電動ユニバーサルレボルバ、
微分干渉（DIC）装置挿入スロット付
対物レンズ    CFI60 LU PLAN シリーズ、
CFI60 LU PLAN APO シリーズ
ステージ    8×8 ステージ
ストローク：205×205 mm（透過観察範囲：150×150 mm）、
粗微動切換機構付、
微動ハンドル位置固定
寸法(W×D×H)(約)    360×855×610 mm（鏡筒俯角10度にて）

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